日前，在位于亦莊的北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司，研發人員在車間內對高密度等離子硅刻蝕機進行調試。
換上消過毒的外衣，戴上一次性衛生帽、手套和口罩，還得套上軟底的“無聲鞋”，才算是符合了進入生產車間的標準。如此“全副武裝”一番之后，記者全身早已是大汗淋漓。
“這樣的準備，是為了確保生產車間內無塵無菌的環境。”北方微電子市場部部長張瑋一邊說著，一邊帶記者走進車間。
走進位于亦莊開發區內的北方微電子生產車間，明亮的燈光下，4名技術人員正圍在一臺刻蝕機前進行組裝工作。“我們現在正在組裝刻蝕機的射頻控制系統。”技術員王宇手中拿著一把力矩扳手，正在仔細比對螺母的角度。
刻蝕機是個寬1米多，高達2米的“大家伙”，組裝這樣大的機器，為什么連一個小螺母的角度都得這樣仔細比對？
“刻蝕機是在電子芯片上做‘針尖微雕’的工作，裝配中可不能有任何一點馬虎，否則就會影響使用效果。”張瑋說，這樣一臺刻蝕機，光是機械零配件就有十幾萬個，組裝一臺至少需要一個月的時間。
不過，這樣的耗時耗力卻能給企業帶來豐厚的回報。
作為國內首家集成電路高端裝備制造企業，北方微電子肩負著給中芯國際等芯片制造商提供裝備的重任，每臺刻蝕機的價格都在千萬元級別。今年一季度，在芯片產業回暖的情況下，北方微電子接連簽下了好幾筆“大單”，生產車間也是開足馬力，全速生產。
放眼看去，整個車間里還有好幾臺刻蝕機正在組裝之中，技術人員來來往往，一片繁忙景象。
“去年一季度我們的刻蝕機產量是3臺，而目前正在生產的就有12臺。”張瑋說，北方微電子一季度實現工業產值3200萬元，與去年同期相比翻了三倍多。
“今年我們計劃增加30%的生產規模以擴充產能，并全面保障人員和產品研發經費的投入。”北方微電子相關負責人透露，到今年年底，將實現整個設備業務板塊生產能力和產值翻一番。
今年以來，在亦莊開發區內，增資擴產的企業不僅僅是北方微電子一家。亦莊開發區產業促進局相關負責人介紹說，今年一季度，開發區吸引投資總體良好，尤其是外商投資積極踴躍，增長幅度較大。項目簽約數量和質量都得到了進一步提升。
據統計，今年一季度亦莊開發區新批內外資企業投資總額(含增資)折合16億美元，完成全年任務的33%；其中僅外資企業投資額就達到了12.6億美元，同比增長174%。此外，一季度亦莊開發區核準內資項目投資112億元人民幣，同比增長124%。
康寧為京東方八代線配套，增資2.4億美元；第一三共制藥增資1.46億美元；三洋能源增資1.45億美元……國際知名的制造業企業，紛紛將大筆投資投向亦莊。據統計，今年一季度，亦莊的外商投資勢頭良好，開發區內原有企業增資同比增長高達252%，新設企業投資額也增長近100%，相應帶動合同外資額增長70%。“這說明老企業的市場需求旺盛，發展后勁十足，企業在華投資信心堅定。”亦莊開發區相關負責人表示，一季度新批的外資企業幾乎全部為生產性服務行業，如技術開發、工業貿易、技術咨詢等。
“二季度，亦莊開發區還將進行一系列的簽約，促進項目落地。”亦莊開發區產業促進局相關負責人表示，簽約項目包括中金增儲投資基金項目；中金金融認證中心項目；原子高科同位素藥物研發生產基地項目；國家環境服務產業園項目；新興際華亦莊國際貿易港項目；以及中航國際新能源發展公司總部項目等。這些項目涉及的投資總額達500多億元，預計投入運營后，可實現營業收入約1500億元。
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