北京形成集成電路產業鏈
中芯國際資深技術總監吳漢明清晰地記得，在十年前中芯國際投產時，大到生產線設備，小到螺母、螺絲釘，都是進口的。
從2008年至今短短幾年時間，一些國產材料和大型裝備正在逐漸進入集成電路生產線。從集成電路設備制造、工藝，到芯片設計、制造，北京已經構建起了一條產業鏈。
這些成績的取得，離不開國家科技重大專項的支持。
記者拿到了一枚剛切割的芯片，邊長只有5毫米，不到指甲蓋一半大，約摸兩三張紙的厚度。表面顯現金屬光澤，用手一摸，感覺比較平滑。當把芯片放到顯微鏡下，鏡頭里呈現出芯片的一角，表面像梳尺，突起的部位是晶體管和電路，中間夾雜著一道道溝壑。
“實際上，這僅僅是一層結構，一個典型的芯片有8層，上面的晶體管和電路如果排成一根直線，有六七百米長。”中芯國際副總裁趙海軍介紹說。
如此高的精度，需要機械、電子、軟件、控制、材料等多個學科的配合，幾年前，只有美國、日本等發達國家的兩三家公司有能力生產刻蝕機，與刻蝕機類似，集成電路生產線上的其他設備，如氧化、薄膜、光刻、離子注入等設備，也都由歐美日少數公司掌握。
由于設備和制造工藝落后，我國的集成電路產業主要依靠進口。數據顯示，2011年我國進口芯片集成電路1848億美元，連續多年超過原油成為我國第一大進口產品。
看中了如此巨大的需求，北京電控集團下屬的電子設備制造商——北方微電子公司想研發刻蝕機。不過，說易行難。“研發這套設備，需要建立一套條件和工藝平臺，投資需要上億元；還需要購買檢測和評估的設備，又要上億元。這還僅僅是設備投入。”北方微電子總裁趙晉榮說。
2008年底開始實施的國家科技重大專項02專項，改變了企業有心無力的局面。北京市作為組織牽頭單位，對項目承擔單位予以資金扶持。更為重要的，02專項讓產業鏈的上下游企業站在了一起。北方微電子研發的首臺國產90納米、65納米刻蝕機，就得以在中芯國際的大生產線上進行了一年多的驗證，不斷加以改進。“這個驗證過程，就像藥品的臨床，是必不可少的。”趙晉榮說。
七星華創的12英寸氧化爐、中科信公司的12英寸離子注入機，也像北方微電子的刻蝕機一樣，在重大專項的支持下研發成功，并得到生產線的驗證。
在重大專項的支持下，中芯國際在3年時間里，投入30億元，依靠完全自主創新，成功研發出65納米集成電路的制造工藝，而如果單純靠企業自有資金，需要5年時間。從2009年三季度到2011年底，65納米集成電路的營業額近15億元。45納米的產品工藝也得到了多家客戶驗證。在當前世界上最為先進的28納米制造上，目前已經基本完成關鍵工藝研發，到2013年將具備批量生產能力。
中芯國際對先進制造工藝的掌握，為國內芯片設計企業提供了平臺。北京君正、兆易創新等北京新興的芯片設計公司，通過中芯國際，將設計成果變為了實實在在的芯片，運用在高清電視、WiFi、無線通信、可攜式媒體播放器(PMP)等領域，北京君正、兆易創新也得以順利登陸資本市場。
“在北京，既有北方微電子、七星華創等提供集成電路生產設備的企業，也有北京君正、兆易創新等芯片設計企業，還有中芯國際這樣大型集成電路制造企業。一條集成電路產業鏈就這樣初步形成了。”市經信委副主任梁勝說。
中關村落地重大專項超七成
首臺國產刻蝕機、65納米成套產品工藝、兩大4G國際標準之一、售價8700萬元的世界最貴金屬切削機床……這些成就的取得，離不開一個名詞——國家科技重大專項。
國家科技重大專項01-04專項自2008年底開始實施，至今，北京地區課題立項項目數量和經費總額均居全國首位，其中落地在中關村示范區的項目超過70%。目前已有27項課題提前取得了突破性進展，初步統計，已經形成銷售收入134億元。
這4個專項分別為核心電子器件、高端通用芯片及基礎軟件產品專項（簡稱“核高基”專項，即01專項）、極大規模集成電路制造裝備及成套工藝專項（即02專項）、新一代寬帶無線移動通信網專項（即03專項）和高檔數控機床與基礎制造裝備專項（即04專項）。
僅僅是研發集成電路制造所需要的刻蝕機，光設備投入就超過2億元，如此巨大的投入，光靠一個企業很難完成。市經信委副主任梁勝說，重大科技專項就是要在短時間內把我們過去想做成功一直沒做成功，過去一直依賴國外，沒有自主發展的這些領域，依靠國家財力的支持，集合高校、院所和企業上下游的力量，在關鍵性、基礎性、共性的問題方面加以解決，推動產業發展，形成綜合競爭優勢。
通過3年多的實施，國家科技重大專項已經初見成效。梁勝說，在集成電路領域，短短兩三年時間，我國和國際主流技術的差距，從原來的兩代、三代縮短到一代半，到“十二五”末，我國集成電路制造水平應該能趕上國際主流的先進水平。
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