我科學家制造出世界面積最大的中階梯光柵

從中國科學院獲悉，由中國科學院長春光機所承擔的國家重大科研裝備研制項目“大型高精度衍射光柵刻劃系統的研制”11日順利通過國家驗收。利用這一系統，我國制造出世界面積最大的中階梯光柵，標志著我國大面積高精度光柵制造中的相關技術已達到國際水平。

    衍射光柵是具有納米精度周期性微結構的精密光學元件，是光譜儀、激光器等高技術裝備的核心部件，被廣泛地用于光通信、天文學、新能源等戰略高技術領域。在眾多種類的光柵中，中階梯光柵是面積最大、精度最高，在戰略高技術設備中應用較為廣泛的一種。一直以來，國外對我國進口大面積、高精度中階梯光柵實行嚴格限制。因此，2008年，在中國科學院和財政部共同支持下，長春光機所開始“大型高精度衍射光柵刻劃系統”的研制工作。

    歷時8年，攻克18項關鍵技術難關、取得9項創新性成果，我國科學家終于自主研發出這臺光柵刻劃機，造出了面積達400毫米×500毫米的世界最大面積的中階梯光柵。同時，其精度達到10個納米，參與研制的科研人員解釋說：“這臺機器的刻槽精度非常高，在約20公里行程范圍內，刻槽間距誤差要小于頭發絲粗細的一千分之一。”

    驗收組認為，大型高精度光柵刻劃系統以及大面積中階梯光柵的研制成功，不僅打破了我國高精度大尺寸光柵受制于人的局面，推動我國光譜儀器等行業由低端向高端發展，而且也將輻射、帶動精密機械學科和產業的創新發展。